日本エクシード

5超の技術

より平坦に、より滑らかに、より薄く、より美しく。
5超の研磨加工技術で研究・開発を支援します

日本エクシードは1961年創業以来、長年にわたる研磨加工の経験の上に独自の研究開発を繰り返し、様々な単結晶素材を手掛ける技術力を高次元で実現してきました。
5超（超平滑化・超平坦化・超薄化・超無歪み化・超清浄化）の研磨加工技術で研究・開発を支援します。

特徴
●表面の粗さをナノメートル（nm）レベルに
●平坦度、厚みバラツキをμmレベルに
●厚みや膜厚を数μm～数十μmに
●表面の歪み層を無くす
●原子レベルの金属コンタミネーション除去
●サブミクロンレベルのパーティクル除去

研磨加工について

研磨加工プロセス

研磨工程のご紹介

1次研磨工程

前工程（ラップ・エッチングラップ・エッチング）の加工変質層除去を行う。

2次・3次研磨工程

2次研磨では表面粗さの向上次研磨では表面粗さの向上。
3次研磨はヘイズフリー。

3段回に分けて研磨を行うことで、ヘイズのない超平滑面実現致します。

洗浄工程のご紹介

洗浄により汚染を除去

・パーティクル 
・有機分子種 
・無機分子種 
・重金属など

人が介在しないため、クリーン度が保たれた状態で洗浄を行います。