5超の技術
超清浄化技術
SiCウエーハの清浄化
クリーンデバイスとして着目されているSiCは、集積度の高密度化・更なる高効率を目指す為にはパーティクルも重要な位置づけになりつつあります。
当社は洗浄に関しても、素材に適した技術を持ち合わせております。 写真にSiCの洗浄レベルを示します。
![](http://nihon-exceed.co.jp/data/202201/img61d8169546382.jpg)
![img](http://nihon-exceed.co.jp/data/202303/img640fb5039dc6f.jpg)
5超の技術
超清浄化技術
クリーンデバイスとして着目されているSiCは、集積度の高密度化・更なる高効率を目指す為にはパーティクルも重要な位置づけになりつつあります。
当社は洗浄に関しても、素材に適した技術を持ち合わせております。 写真にSiCの洗浄レベルを示します。