超清浄化技術｜技術紹介・5超の技術｜日本エクシード株式会社

クリーンデバイスとして着目されているSiCは、集積度の高密度化・更なる高効率を目指す為にはパーティクルも重要な位置づけになりつつあります。 

当社は洗浄に関しても、素材に適した技術を持ち合わせております。 写真にSiCの洗浄レベルを示します。